浮動拋光方法
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超精密平面浮動拋光機采用液體靜壓軸承,并在臺面上裝有超精密金剛石立車拋光盤修整器。拋光機要放置在有空調(diào)的潔凈室內(nèi)的超潔凈工作臺上,在100級潔凈度下進行拋光。
采用純水或蒸溜水做加工液,使用公稱直徑7nm的SiO?超微細粒子作拋光劑(質(zhì)量分數(shù)為2%~3%)。拋光時,將拋光盤表面浸沒在拋光液內(nèi)。將表面粗糙度Rz1.0μm以下、平面度數(shù)微米的工件放在拋光盤上,并使拋光盤和工件高速回轉(zhuǎn),借助兩者之間的拋光液的動壓流體潤滑狀態(tài),使工件懸浮在拋光盤上進行拋光。
浮動拋光時,由于工件上浮量只有數(shù)微米,所以當(dāng)預(yù)加工工件的表面粗粗糙度Rz為數(shù)微米時,在工件與拋光盤間建立不起液膜,并且會損壞拋光盤,不能進行懸浮拋光。浮動拋光還要求工件有良好的平面度。拋光機無軸向振動。為了防止工件與錫拋光盤接觸,還需往拋光液中添加增黏劑。因此,工件不能由粗加工或中加工直接移至最終浮動拋光加工。浮動拋光要求工件在的前道工序進行精拋光,且加工表面粗糙度不大于35nm。
因錫拋光盤剛性較高,并且加工中的拋光壓力較高,所以工件與拋光盤間幾微米厚度的拋光液膜的剛性也高。工件不直接與錫盤接觸,因此,錫盤在拋光過程中磨損極少,比其他拋光法更易保持平面度。另外,由于動壓液體的均化作用,工件表面比錫盤的平面度更高。即使錫盤表面有微量不平,也不會直接“復(fù)印”到工件表面。在加工中要保持工作平穩(wěn)回轉(zhuǎn),使用的拋光壓力僅是工件和工件夾具的自重,不需要施加外力。
科眾工業(yè)陶瓷廠是【結(jié)構(gòu)陶瓷】專家,【結(jié)構(gòu)陶瓷】廠家直銷,價格有優(yōu)勢;【結(jié)構(gòu)陶瓷】成型/燒結(jié)/精密加工工藝成熟、交期準、保障質(zhì)量,歡迎來電咨詢:13412443344/0769-33235150/QQ921105260科眾工業(yè)陶瓷廠是【結(jié)構(gòu)陶瓷】專家,【結(jié)構(gòu)陶瓷】廠家直銷,價格有優(yōu)勢;【結(jié)構(gòu)陶瓷】成型/燒結(jié)/精密加工工藝成熟、交期準、保障質(zhì)量,歡迎來電咨詢:13412443344/0769-33235150/QQ2712136085
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本文“浮動拋光方法”由科眾陶瓷編輯整理,修訂時間:2017-05-11 16:12:22
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